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纳米尺度的长度测量可以通过硅晶格间距溯源到国际单位制的长度单位“米”。利用一种新颖的自下而上的方法对更大尺寸进行测量，可以进一步强化这种“实际应用”描述的方法。
硅晶格间距是通过光束和X射线干涉测量法测定的，相对不确定度为1.67×10-8，用于对复杂的纳米结构进行跟踪测量，根据实际测量方法，测量值为国际单位制米。为此，德国联邦物理技术研究院（PTB）使用了具有原子分辨率的透射电子显微镜（TEM），但其测量范围较小。
为了克服这种限制，PTB开发了一种自下而上的新方法。这种方法包括四个步骤，并首次通过对额定针尖半径为2 μm的测针针尖进行几何校准完成了演示。第一步，如上文所述，使用透射电子显微镜（TEM），根据硅晶格间距追踪线宽标准。第二步，使用该标准来确定额定针尖半径为20nm的原子力显微镜针尖的几何形状。第三步，将针尖用于原子力显微镜（AFM），测量测针针尖的几何形状。第四步，也是最后一步，测针针尖可用于轮廓仪，对微结构和表面进行广泛测量。这样测针针尖的几何形状及其测量结果就可以溯源到硅晶格间距。
原子力显微镜和轮廓仪都以接触测量为基础：被测样品是用针尖测量的，针尖的几何形状对测量结果有很大影响，因此有必要对测量的轮廓进行相应的修正。新的自下而上的方法可以高精度地实现这一点，并通过了实验验证：测得的商用测针针尖半径为1.72微米，明显小于额定值2微米，这表明很有必要开展校准工作。然后用校准过的测针针尖测量了三个尺寸zui大为500微米的微球，其测量结果具有ji佳的重复度。五次重复测量的标准偏差每次都低于0.6纳米。
这种新方法的jing确度优于传统方法，ji有可能提升高精度尺寸测量仪器的jing确度。
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